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高标准净化车间，如百级净化车间的换气次数需在200次/h以上，层流风速大于0.35m/s，HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率大于50%。故地面一般会采用格栅式设计，格栅地面之下会制作一个水池用于吸附空气中的尘。由于换风量区大，整个地面具备回风功能并保证气流均匀分布。

净化车间空气循环含一般含初效、中效、高效多重过滤系统，一般大部分为内循环风设计，顶部高效送风口送风，侧边或回风立柱经百叶窗过滤后再次进入送风柜。如果某一局部区域有更高的洁净度要求，一般可以考虑在此区域安装层流罩、FFU等。送风柜一般位于楼顶或夹层之上，送风柜放风端除了回风管，一般还含有少部分经过滤后的新风补流进来。为了……

洁净车间，亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净车间，亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。